以Elmo大功率伺服驱动器Platinum系列为例，该系列在速度、伺服性能、带宽、精度和控制能力上，相对于Elmo明星产品Gold系列都做了大幅升级，可以更好地满足晶圆传输对运动控制的严苛要求。

小身材大能量满足微缩工艺

以Elmo Platinum Twitter驱动器为例，小尺寸为35 x 30 mm，仅有一个火柴盒的大小，完全满足半导体制作工序持续微缩的需求，同时可提供5600W的连续功率，确保晶圆在传输过程中可靠。

纳米级运动控制实现定位

采用高分辨率编码器和先进电流环控制技术，搭配Platinum Maestro先进的双核运动控制技术，实现纳米级精度的运动控制。

多轴协同控制提升传输效率

支持EtherCAT总线通讯，循环时间可达100 us，高协同性，可忽略的抖动和近乎零延迟。

抖动抑制技术保证脆性材料稳定传输

通过谐波补偿算法，将静止位置波动控制在极其微小的范围以内，确保晶圆在传输时的稳定性。

监测和分析伺服驱动器的各项特点和功能

通过EASII软件编写程序，维护和分析运动过程，EASII还可以配置程序，轻松实现运动控制配置、驱动调整、参数记录等。

目前，Elmo开发了一代基于氮化镓功率开关技术的Titanium系列，该系列驱动器的开关应用材料做了全新升级，相对于传统的开关控制器，在开关频率和输出的功率上得到了进一步的提升，在尽可能节省空间的情况下，能够进一步提升运动控制的效率，节约成本，相信随着Titanium系列的上市及更多实际应用，未来将重塑半导体制造新驱动。

Titanium系列伺服驱动器

Titanium系列是Elmo新一代产品，目前伺服驱动器Titanium Solo Castanet和Titanium Harmonica 2 Axes均已上市。

Titanium Castanet是基于氮化镓功率开关技术的下一代双轴功能伺服驱动器，适用于低直流电压应用。该解决方案在100伏电压下可达15安培，连续功率为2.4千瓦。

Titanium Harmonica具有功能齐全的运动控制器和本地智能。该解决方案在200伏电压下可达10安培，每轴连续功率为5.6千瓦。

机器人和半导体行业的运动控制通常意味着对伺服驱动系统的要求，Elmo伺服驱动器以显著优势已经应用于机器人和半导体生产过程的多个环节，为客户提供高性能的运动控制解决方案，并获得了广大用户的好评。

现在Titanium Castanet基于氮化镓功率开关技术的下一代双轴功能伺服驱动器已经可以订货，型号示例：TCAS-HO2-15/100CEV。