城市 企业 产品 知识
工业 农业 房产 汽车 家居 服饰 日用 IT 文教 生活 健康 服务 工商 商务 广告 工程
  • 特种气体气路安装的材料选择和要求介绍

    2018-03-05 09:40
  • 超净的气体输送管道系统,是指具有超净化要求的输送高纯气体、掺杂气体的管道系统,广泛应用于集成电路器件生产、太阳能光伏电池生产PDF显示器面板生产等微电子领域,为了更好的输送特种气体,那么特种气体气路安装的材料选择和要求有哪些呢?下面就来为大家进行介绍。

    图片不存在

    配管材料选择

    1、对超高纯气体管道.应采用内壁电解抛光的超低碳不锈钢管。对于制作EP管的母材普通的单真空熔化不锈钢是不能满足高纯气体的要求的,因单真空熔化不锈钢制作的附件和管道表面相对粗糙.易于吸附释放出微粒。应采用更先进的双真空熔化不锈钢。

    2、阀门选用波纹管阀或隔膜阀,因波纹管阀和隔膜阀漏气量少,尤其隔膜阀的阀体死空间小,易吹除,应优先选用。

    3、高纯气体的外部泄漏必须减小到至少低于泄露检测的极限,只有采取金属一金属面密封能达到,在必须拆卸的地方,采用可靠性高的金属密封垫-端面密封方式(VCR)连接,其余采用全自动脉冲氩弧焊轨道焊机进行焊接连接。

    施工方法要求

    1、在管道安装前,应绘制管道轴侧图,标明管道的长度和焊口的详细位置。绘图时应多考虑焊接的操作空间,并尽量着气流的方向进行安装。

    2、为了防止微粒污染,管道的所有预组装加工应在临时净化间内进行。管子在切割过程中应防止变形或划出痕迹,在切割的过程中用高纯氩气进行吹扫以避免污染。

    3、切割完后,用专用刮削工具将端口刮削至平整,光滑,如端面不平,用专用工具将未端平整。焊接接口的好坏将直接影响到焊缝的质量,从而影响整个配管安全。

    4、为了确保焊缝质量,正式施焊前以及焊接过程中任何一参数(位置、气流、管径等〕发生变化,都必须做焊接试验,样品的焊接记录也应登记在每天的日常焊接记录上面,经检验合格后方可正式施焊,焊缝成型必项均匀、美观.不允许有未焊透、未熔合、焊面内凹、气孔、错边等缺陷。

    5、预制好的管道附件的两端必须用洁净的塑料盖子连同塑料薄膜起封好,并用洁净的胶带扎紧,以减少大气对管道的污染。

  • 发布:汪工   点击:4186
  • 特种气体气路安装的材料选择和要求介绍相关资源

网店推荐

更多化工网店
  • 暂无数据