成熟闭环流程包括：
机械剥离：物理分离靶材与金属背板。
溶解富集：酸溶（如盐酸）将铟、锡浸出，固液分离。
铟锡深度分离：
选择性沉淀：控制pH值分步沉淀锡、铟化合物。
溶剂萃取：P507等萃取剂优先萃铟，实现铟锡分离，回收率>95%。
高纯铟制备：萃取液反萃 → 电解/置换得粗铟 → 真空蒸馏/区域熔炼 → 4N以上精铟。
再生靶材制造：精铟氧化 → 与氧化锡混合 → 成型烧结 → 新ITO靶材。
产业意义：从成本中心到价值引擎
从用过的ITO靶材中回收氧化铟包括几个步骤，包括溶解、沉淀和焙烧。首先将目标材料溶解在盐酸中，盐酸溶解氧化铟，然后加入氢氧化钠从酸性溶液中析出氧化铟。生成的氢氧化铟然后在高温下焙烧得到氧化铟。
从用过的ITO靶材中回收氧化铟的另一种方法是使用离子交换树脂，离子交换树脂用于选择性地从酸性溶液中吸附铟，然后用酸性溶液将铟从树脂中洗脱出来，并通过焙烧得到氧化铟。
在当今环保意识日益增强的时代，铟靶材的回收再利用成为了行业内关注的焦点。ITO靶材，作为铟锡氧化物靶材的简称，广泛应用于平板显示、太阳能电池等领域，其回收价值不言而喻。