在智能手机、平板电脑、超清电视的光滑屏幕背后,ITO靶材(氧化铟锡)是赋予其透明导电魔力的核心材料。作为ITO靶材的关键成分,铟(In)的稳定供应直接关系到全球万亿级显示产业的命脉。然而,这种稀散金属的地缘分布不均(中国储量占全球70%以上)和原生矿产的有限性,使得铟的回收再利用不再是环保课题,更成为保障产业、实现供应链韧性的“闭环”革命。
ITO靶材在溅射镀膜过程中利用率通常仅30%左右,大量含铟废料(废旧靶材、边角料、镀膜腔室废料)随之产生。过去,这些价值的废料往往被简单处理或堆积。建立从“废靶材→再生铟→新靶材”的闭环体系,成为破解资源约束的黄金路径。
成熟闭环流程包括:
机械剥离:物理分离靶材与金属背板。
溶解富集:酸溶(如盐酸)将铟、锡浸出,固液分离。
铟锡深度分离:
选择性沉淀:控制pH值分步沉淀锡、铟化合物。
溶剂萃取:P507等萃取剂优先萃铟,实现铟锡分离,回收率>95%。
高纯铟制备:萃取液反萃 → 电解/置换得粗铟 → 真空蒸馏/区域熔炼 → 4N以上精铟。
再生靶材制造:精铟氧化 → 与氧化锡混合 → 成型烧结 → 新ITO靶材。
产业意义:从成本中心到价值引擎
ITO靶材回收注意事项:
措施:处理酸碱和废液时需注意和环保。
环保合规:废液和残渣需达标处理,避免二次污染。
回收效率:合理选择工艺,提高铟、锡的回收率和纯度。