ITO靶材在溅射镀膜过程中利用率通常仅30%左右，大量含铟废料（废旧靶材、边角料、镀膜腔室废料）随之产生。过去，这些价值的废料往往被简单处理或堆积。建立从“废靶材→再生铟→新靶材”的闭环体系，成为破解资源约束的黄金路径。
废ITO靶材回收的核心挑战在于：
成分复杂：除In₂O₃、SnO₂外，含粘结剂、金属背板（铜/钼）等。
高纯度要求：再生铟纯度需达99.99%以上，杂质含量需严格控制在ppm级，否则影响新靶材性能。
铟锡分离：分离铟锡是实现价值化的关键。
闭环工艺：价值再造的精益之路
ITO靶材回收的必要性
1. 资源稀缺：铟为稀有金属，资源有限，价格昂贵。
2. 成本控制：回收废旧ITO靶材可降低企业原材料采购成本。
3. 环保要求：减少废弃物排放，符合绿色生产理念。
ITO靶材回收注意事项：
措施：处理酸碱和废液时需注意和环保。
环保合规：废液和残渣需达标处理，避免二次污染。
回收效率：合理选择工艺，提高铟、锡的回收率和纯度。