仪器简介：

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯气相反应仪是根据我公司的控制技术并按照高校广大师生需求设计的产品，此AL-SMGG20型 小型微波石墨烯气相反应仪主要特点是控温无误、7寸显示屏显示、触摸控制、操作简单方便，可以存储数据。AL-SMGG20型 小型微波石墨烯气相反应仪具有强大的数字处理功能，实时在线显示和记录反应数据和曲线图像，程序控制反应条件，可将实验分为多个工作阶段，可随时在线修改不适宜反应条件参数，具有保存和查询实验记录的功能。

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯气相反应仪作用原理是在化学气相沉积（CVD）基础上利用微波辐射，产生等离子体。在微波等离子化学气相沉积（MPCVD）的技术下，石墨烯通常以薄膜形式沉积在衬底表面。其中高温的衬底相当于催化剂，能提高分解率。

应用领域：

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯气相反应仪适用于制备石墨烯材料、SiOx、TiN、TiCN、金刚石涂层等。在金属、玻璃、聚合物以及其他材料表面沉积有机或无机薄膜来保护其他表面不被腐蚀或改变其表面硬度、增强耐磨性能等。

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯气相反应仪能催化完成微波等离子体相关应用，包括但不限于以下方面：

1、半导体加工：在半导体的蚀刻、溅射、气相沉积、氧化硅片等生产工艺中使用微波等离子体技术。

2、表面处理：应用于金属、合金、非金属的表面处理，如金属表面的清洗和强化。

3、有害气体排放控制：通过微波等离子体技术减少有害气体的排放。

4、等离子体光谱分析：可以用于检测多种元素，并用于分解有毒化合物。

5、食品加工：在食品干燥、、熟成、烘焙食品、脱腥、彭化和冷藏等方面也有应用。

技术参数：

1、微波频率：2450MHz；

*2、功率:0-2000W，功率自由设置，微波功率随温度自动变频控制，非脉冲连续加热。

*3、功率上限随意设置，并且具有设置功率下限功能，保证一直有功率输出。

*4、控温方式3种，分别是以设置的上限功率加热到设定温度然后保温模式、初始温度经过设置的时间到达设定温度从而达到缓慢升温效果的速率升温模式、设置每分钟升温温度度数的升温斜率模式。

*5、测温和控温范围:0～1200℃；具有速率升温功能。

6、测温精度:≤±0.2℃ 控温精度:≤±1℃；

7、30升316L奥氏体不锈钢腔体，表面耐腐蚀、耐高温性强；

8、高精度非接触式红外温度传感器，实时监测反应温度，准确控制反应进程；

*9、具有磁控管保护器，可连续不间断持续工作。

*10、7英寸高亮度TFT液晶显示触摸屏直接操作，Cortex-A8 CPU核心，配备USB接口；实时显示反应温度和功率数据，并显示曲线，可以保存和查询实验记录；

*11、采用无误AI人工智慧逻辑算法 ，实现复杂长滞后对象无误控制，保证控温无误，杜绝出现超温、低温等现象；

*12、反应腔体为石英腔体，反应区尺寸：Φ200*300 mm ；

13、配备气氛接口5路（可根据客户需求定制）；

14、可以进氛、真空以及微正压环境下反应实验；

15、微波泄漏符合国家标准。

*表示我公司优势技术。