ITO靶材的核心用途是在磁控溅射工艺中作为“溅射源”。磁控溅射是一种常见的薄膜沉积技术,通过高能离子轰击靶材表面,使靶材原子被“敲击”出来,终沉积在基板上,形成一层均匀的ITO薄膜。这层薄膜厚度通常在几十到几百纳米之间,却能同时实现导电和透光的功能。
铟回收具有重要的环保和经济效益。通过回收废旧靶材中的铟,可以减少对新资源的开采,降低环境污染,实现资源的可持续利用。此外,回收铟还能稳定市场供应,降低生产成本,促进相关产业的可持续发展。
闭环之困:损耗与机遇并存
ITO靶材在溅射镀膜过程中利用率通常仅30%左右,大量含铟废料(废旧靶材、边角料、镀膜腔室废料)随之产生。过去,这些价值的废料往往被简单处理或堆积。建立从“废靶材→再生铟→新靶材”的闭环体系,成为破解资源约束的黄金路径。
铟回收的难点在于其“稀”与“散”。一部废旧手机含铟量不足0.02克,且深嵌于多层结构的液晶面板中,与玻璃、塑料、其他金属紧密复合。传统的物理拆解难以分离,湿法冶金(酸/碱浸出)则面临成分复杂、杂质干扰、易产生二次污染等严峻挑战。