从物理性质上看,ITO靶材具有以下几个显著特点:
高透明度:在可见光范围内(波长400-700纳米),ITO薄膜的透光率可高达90%以上,几乎与普通玻璃相当。
优异导电性:其电阻率通常在10⁻⁴欧姆·厘米的量级,远低于大多数透明材料。
化学稳定性:在常温下,ITO对水、氧气等环境因素表现出良好的抗腐蚀能力。
机械耐久性:ITO薄膜具备一定的硬度和耐磨性,能够应对日常使用中的轻微刮擦。
这些特性让ITO靶材在实际应用中游刃有余,尤其是在需要兼顾光学和电学性能的场景中。
目前,ITO靶材的制备主要有两种常见方法:热压烧结法和冷等静压法。
热压烧结法
工艺流程:将氧化铟和氧化锡粉末按比例混合后,放入模具,在高温(1000-1500°C)和高压(几十到几百兆帕)下压制成型。高温使粉末颗粒熔融结合,形成致密的靶材结构。
优点:这种方法制备的靶材密度接近理论值(通常超过99%),晶粒分布均匀,适合高精度镀膜需求。
缺点:设备复杂,能耗高,生产成本较高。
适用场景:高端电子产品,如智能手机、平板电脑的显示屏制造。
ITO(Indium Tin Oxide,氧化铟锡)靶材是一种广泛用于透明导电薄膜材料制备的复合氧化物材料,其主要成分为氧化铟(In₂O₃)和氧化锡(SnO₂)。通常,ITO靶材中氧化铟与氧化锡的质量比例为90:10,这一比例在实际应用中表现出较为理想的光电特性,使其在透明导电薄膜中广泛应用。
在智能手机、平板电脑、超清电视的光滑屏幕背后,ITO靶材(氧化铟锡)是赋予其透明导电魔力的核心材料。作为ITO靶材的关键成分,铟(In)的稳定供应直接关系到全球万亿级显示产业的命脉。然而,这种稀散金属的地缘分布不均(中国储量占全球70%以上)和原生矿产的有限性,使得铟的回收再利用不再是环保课题,更成为保障产业、实现供应链韧性的“闭环”革命。