从物理性质上看,ITO靶材具有以下几个显著特点:
高透明度:在可见光范围内(波长400-700纳米),ITO薄膜的透光率可高达90%以上,几乎与普通玻璃相当。
优异导电性:其电阻率通常在10⁻⁴欧姆·厘米的量级,远低于大多数透明材料。
化学稳定性:在常温下,ITO对水、氧气等环境因素表现出良好的抗腐蚀能力。
机械耐久性:ITO薄膜具备一定的硬度和耐磨性,能够应对日常使用中的轻微刮擦。
这些特性让ITO靶材在实际应用中游刃有余,尤其是在需要兼顾光学和电学性能的场景中。
冷等静压法
工艺流程:将混合粉末装入柔性模具,在室温下通过高压(100-300兆帕)压制成型,随后在较低温度下烧结固化。
优点:工艺相对简单,生产成本较低,适合小批量或定制化生产。
缺点:靶材密度和均匀性稍逊,可能在高功率溅射中表现不够稳定。
适用场景:中低端电子产品或实验室研发用靶材。
这两种方法各有千秋,制造商需要根据具体需求权衡成本与性能。
ITO靶材,即铟锡氧化物靶材,主要由氧化铟(In₂O₃)和氧化锡(SnO₂)组成,其中氧化铟占比高达90%。ITO靶材因其优异的导电性和高透光性,成为液晶显示器(LCD)、触摸屏及太阳能电池等光电设备的理想材料。其晶体结构稳定,电导率高,确保了设备的运行。
铟回收的难点在于其“稀”与“散”。一部废旧手机含铟量不足0.02克,且深嵌于多层结构的液晶面板中,与玻璃、塑料、其他金属紧密复合。传统的物理拆解难以分离,湿法冶金(酸/碱浸出)则面临成分复杂、杂质干扰、易产生二次污染等严峻挑战。