从化学角度看，ITO是一种复合氧化物，其性能很大程度上取决于氧化铟和氧化锡的比例。氧化铟提供高透明度，而氧化锡的掺杂则增强了材料的导电性。通过控制这两者的配比，ITO能够在保持光学透明的同时，具备接近金属的导电能力。这种“透明却导电”的特性，使得ITO成为制造透明导电膜的理想选择。
ITO靶材的核心用途是在磁控溅射工艺中作为“溅射源”。磁控溅射是一种常见的薄膜沉积技术，通过高能离子轰击靶材表面，使靶材原子被“敲击”出来，终沉积在基板上，形成一层均匀的ITO薄膜。这层薄膜厚度通常在几十到几百纳米之间，却能同时实现导电和透光的功能。
透明导电薄膜在现代光电行业中具有至关重要的地位，是触摸屏、显示器和太阳能电池等设备中的核心组件。ITO靶材凭借其出色的透明导电特性成为制备透明导电薄膜的材料。
ITO靶材的应用主要集中在以下几个领域：
显示技术：ITO薄膜用于LCD、OLED等显示器件中的透明电极，确保设备既能透光显示图像，又能导电传输信号。
触控技术：电容式和电阻式触摸屏使用ITO作为电极材料，其透明性和导电性决定了触控设备的灵敏度和视觉效果。
光伏技术：ITO薄膜作为太阳能电池的前电极材料，具有高透明性，能够保证光线有效进入吸收层，从而提升光电转换效率。
智能建筑与汽车应用：智能窗、加热膜等系统中也使用ITO薄膜，其良好的导电性和耐环境稳定性使其在智能玻璃和汽车加热玻璃等应用中表现出色。