目前,ITO靶材的制备主要有两种常见方法:热压烧结法和冷等静压法。
热压烧结法
工艺流程:将氧化铟和氧化锡粉末按比例混合后,放入模具,在高温(1000-1500°C)和高压(几十到几百兆帕)下压制成型。高温使粉末颗粒熔融结合,形成致密的靶材结构。
优点:这种方法制备的靶材密度接近理论值(通常超过99%),晶粒分布均匀,适合高精度镀膜需求。
缺点:设备复杂,能耗高,生产成本较高。
适用场景:高端电子产品,如智能手机、平板电脑的显示屏制造。
ITO靶材,即铟锡氧化物靶材,主要由氧化铟(In₂O₃)和氧化锡(SnO₂)组成,其中氧化铟占比高达90%。ITO靶材因其优异的导电性和高透光性,成为液晶显示器(LCD)、触摸屏及太阳能电池等光电设备的理想材料。其晶体结构稳定,电导率高,确保了设备的运行。
区别对比
成分差异:铟靶材为纯金属铟制成,而ITO靶材则是铟锡氧化物的复合物。
用途不同:铟靶材主要用于需要高导电性和延展性的领域,如航空航天部件;ITO靶材则因其透明导电性广泛应用于光电显示领域。
性能特点:铟靶材更侧重于导电性和机械强度,而ITO靶材则兼顾导电性和光学透明性。
在堆积如山的废弃手机、平板电脑和液晶显示器深处,隐藏着一种被称为“电子时代血脉”的稀有金属——铟。它虽在自然界中踪迹难寻,却在ITO靶材(氧化铟锡)中扮演着不可替代的角色,驱动着全球亿万块液晶屏幕的清晰成像。随着电子产品更新换代加速,一条从“电子垃圾”到“战略资源”的铟回收产业链正悄然崛起,成为保障产业与生态可持续的关键密码。