铟靶是指以铟为主要成分的溅射靶材,是一种在材料表面镀膜过程中用于提供铟源的材料。在真空溅射镀膜工艺中,铟靶材在高能粒子的轰击下,铟原子被溅射出来并沉积在基底材料表面,形成所需的铟薄膜。
显示面板制造:是铟靶的应用领域,约占总需求的 52%,主要用于液晶显示器(LCD)与有机发光二极管(OLED)的 ITO 透明导电膜制备,可使面板具有良好的导电性和透明性。
半导体领域:占比 28%,用于晶圆制造的金属互联层与钝化层沉积,在第三代半导体器件制造中的渗透率持续攀升,如氮化镓功率器件就需要使用铟靶。
触控技术领域:电容式和电阻式触摸屏中,ITO 作为电极材料,其透明性和导电性决定了触控设备的灵敏度和视觉效果。