氧化铟是一种宽禁带半导体，具有良好的光学透明性，而氧化锡的引入则增强了材料的导电性。这种成分结构使得ITO材料在保证高透光率的同时也具有低电阻率，兼具光学和电学性能。ITO靶材的这一独特特性使其成为透明导电膜的主流材料，尤其适用于要求高透明度的光电设备和显示技术。
火法-湿法联合工艺
结合两种工艺优势提升效率：
废靶材先经回转窑1200℃挥发富集，铟含量从0.1%提升至0.5%。
富铟烟尘通过酸浸-萃取-电解流程精炼，整体回收率从传统工艺的54%提升至85%。
该方案投资成本较单一湿法降低30%，但需配套烟气净化系统防止铟挥发损失。
总结：随着光伏和显示面板产业扩张，2025年中国ITO靶材回收市场规模预计突破50亿元。物理法因成本优势（处理成本2000元/吨）在中小型企业普及，而大型企业更倾向联合工艺（综合回收率>90%）。
未来发展方向将聚焦：短流程设计（工序减少40%）、智能化控制系统（能耗降低25%）、以及铟锡同步回收技术的突破。
多种类回收技术如湿法冶金、火法冶金和物理分离法，提供了灵活的回收方式以适应不同的废物类型和规模需求。湿法冶金回收中，酸浸法通过使用盐酸或硫酸来溶解ITO废料，使得铟以In³⁺的形式进入溶液。随后，可以利用溶剂萃取、置换反应（例如，使用锌粉进行置换）或电解法来进一步回收铟。生物浸出法利用特定的微生物，如硫氧化，来选择性溶解铟。虽然这种方法环保，但目前其效率相对较低，仍处在研究阶段。火法冶金回收中，高温熔炼将含铟废料与还原剂（例如焦炭）一同进行高温熔炼。在熔炼过程中，铟会富集在烟尘或熔渣中，随后需要进一步的二次处理来进行提纯。这种方法适用于大规模的回收操作，但能耗相对较高。
目前，市场上已有不少专业的ITO靶材回收企业，他们通过先进的回收技术和设备，将废旧ITO靶材中的铟、锡等元素进行有效分离和提纯，再加工成新的靶材产品，实现了资源的循环利用。