热压法:把铟粉末在高温和高压下压制成型,能够提高靶材的致密度和机械强度,同时有助于减少气孔和其他缺陷。
冷等静压法:利用液压介质在室温下对铟粉末施加均匀压力使其成型,可制造出高密度和均匀性的靶材,但需要后续的烧结处理来提高其机械性能。
显示领域:广泛应用于液晶显示器(LCD)、有机发光二极管显示器(OLED)等显示器件的制造,用于形成透明导电薄膜,提高显示器的性能和质量。
薄膜太阳能电池
主流技术:用于铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池的溅射镀膜,作为光吸收层(In-Ga-Se 合金)的核心材料。
优势:CIGS 电池的光电转换效率超过 23%,铟靶的纯度直接影响电池的开路电压和填充因子。
溅射时间与沉积厚度
厚度监控:使用石英晶体微天平(QCM)实时监测薄膜沉积速率,结合靶材消耗速率(约 0.1~0.5 μm/min,与功率相关),控制溅射时间。
靶材利用率:避免过度溅射导致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 时需及时更换),通常平面靶材利用率约 30%~40%,旋转靶可提升至 60% 以上。