半导体领域:纯铟在半导体中用作薄膜层,铟靶材可用于制造高速电动机的轴承涂层,使润滑油均匀分布,还可用于半导体器件的制造,如集成电路、芯片等。
. 光通信器件
应用:在光纤连接器、光调制器中作为镀膜材料,提升光学元件的信号传输效率和稳定性。
场景:数据中心高速光模块、5G 前传网络的光器件制造。
精密制造与特殊材料领域
1. 高端轴承与涂层
用途:在航空发动机、精密机床的轴承表面溅射铟涂层,降低摩擦系数,提高润滑性能和抗磨损能力。
场景:飞机涡轮轴承、光刻机精密运动部件等。
2. 低熔点合金与焊料
成分:铟与锡、铅、镓等金属组成的共晶合金(如 In-Sn 合金,熔点约 118℃)。
应用:用于电子元件的低温焊接、热敏感器件的封装,以及核工业中的熔断保护装置。
功率与温度管理
溅射功率:
铟的溅射阈值较低(约 10 eV),起始功率不宜过高(建议从 50 W 逐步递增),避免瞬间过热导致靶材熔融或飞溅(铟熔点仅 156.6℃,过热易造成靶材局部熔化,形成 “熔坑” 影响均匀性)。
直流溅射功率密度通常为 1~5 W/cm²,射频溅射可适当提高至 5~10 W/cm²。
靶材冷却:
采用水冷靶架(水温控制在 15~25℃),确保溅射过程中靶材温度低于 80℃(高温会导致铟原子扩散加剧,影响薄膜结晶质量)。
定期检查冷却水路是否通畅,避免因散热不良导致靶材变形或脱靶。