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氧化铟是一种宽禁带半导体,具有良好的光学透明性,而氧化锡的引入则增强了材料的导电性。这种成分结构使得ITO材料在保证高透光率的同时也具有低电阻率,兼具光学和电学性能。ITO靶材的这一独特特性使其成为透明导电膜的主流材料,尤其适用于要求高透明度的光电设备和显示技术。
流回收工艺分类 当前ITO靶材回收主要围绕铟元素提取展开,主要分为物理法、化学法和联合工艺三类: 熔炼过滤法(物理法) 通过高温熔炼结合筛网过滤实现铟与其他金属的分离。具体流程包括: 废铟块在625℃熔炼炉中熔化,利用铁/不锈钢筛网(30-40目)截留固态杂质铁、铝。 熔融铟通过重力滴落收集,残留物可二次熔炼提升回收率至72%。 该方法具有设备简单(图1)、周期短(单次处理≤60分钟)的优势,适用于含铟量70%-90%的废靶材。但需控温(±5℃),否则杂质金属可能熔化导致纯度下降至95%以下。
当前,铟的主要消费领域集中在ITO靶材上,其占比高达约70%。此外,半导体制造和合金领域的需求也不容忽视,两者合计占总消费量的24%,而其他研究领域则占据了6%。然而,由于ITO制造过程中靶材利用率仅达30%左右,导致大量剩余材料成为废料。加之电子废弃物的激增,铟回收已成为资源可持续利用不可或缺的一环。随着技术进步和应用需求的增长,ITO废料回收能有效减少原矿资源消耗,实现资源的可持续性发展。