光学领域:用于制造反射率与银镜一样高但不会褪色的镜,还可用于制造其他光学器件,如滤光片、光通信器件等。
其他领域:可用于制造低熔点合金,如 24%铟和 76%镓的合金在室温下为液态,此外,还可用于制造整流器、热敏电阻和光电导体等电气组件。
集成电路(IC)制造
用途:作为金属互连层或接触电极材料,用于芯片内部的导电线路、晶体管电极等关键部位。
优势:铟的低熔点和高延展性使其易于加工成极薄的薄膜,满足纳米级制程对材料精度的要求。
科研与前沿技术
1. 量子计算与超导器件
探索应用:铟薄膜作为超导材料(如 In-Nb 合金),用于量子比特器件的制备,利用其超导电性实现低损耗量子信号传输。
2. 柔性电子与可穿戴设备
技术方向:在柔性电路板(FPC)、电子皮肤中作为可拉伸导电薄膜,利用铟的高延展性满足器件形变需求。
溅射时间与沉积厚度
厚度监控:使用石英晶体微天平(QCM)实时监测薄膜沉积速率,结合靶材消耗速率(约 0.1~0.5 μm/min,与功率相关),控制溅射时间。
靶材利用率:避免过度溅射导致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 时需及时更换),通常平面靶材利用率约 30%~40%,旋转靶可提升至 60% 以上。