热压法:把铟粉末在高温和高压下压制成型,能够提高靶材的致密度和机械强度,同时有助于减少气孔和其他缺陷。
冷等静压法:利用液压介质在室温下对铟粉末施加均匀压力使其成型,可制造出高密度和均匀性的靶材,但需要后续的烧结处理来提高其机械性能。
. 光通信器件
应用:在光纤连接器、光调制器中作为镀膜材料,提升光学元件的信号传输效率和稳定性。
场景:数据中心高速光模块、5G 前传网络的光器件制造。
精密制造与特殊材料领域
1. 高端轴承与涂层
用途:在航空发动机、精密机床的轴承表面溅射铟涂层,降低摩擦系数,提高润滑性能和抗磨损能力。
场景:飞机涡轮轴承、光刻机精密运动部件等。
2. 低熔点合金与焊料
成分:铟与锡、铅、镓等金属组成的共晶合金(如 In-Sn 合金,熔点约 118℃)。
应用:用于电子元件的低温焊接、热敏感器件的封装,以及核工业中的熔断保护装置。
溅射时间与沉积厚度
厚度监控:使用石英晶体微天平(QCM)实时监测薄膜沉积速率,结合靶材消耗速率(约 0.1~0.5 μm/min,与功率相关),控制溅射时间。
靶材利用率:避免过度溅射导致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 时需及时更换),通常平面靶材利用率约 30%~40%,旋转靶可提升至 60% 以上。