显示领域:广泛应用于液晶显示器(LCD)、有机发光二极管显示器(OLED)等显示器件的制造,用于形成透明导电薄膜,提高显示器的性能和质量。
薄膜太阳能电池
主流技术:用于铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池的溅射镀膜,作为光吸收层(In-Ga-Se 合金)的核心材料。
优势:CIGS 电池的光电转换效率超过 23%,铟靶的纯度直接影响电池的开路电压和填充因子。
真空系统维护
腔体清洁:每次溅射后及时清理腔体内壁及基片台的铟沉积层(铟延展性强,易粘附在腔体表面,长期积累可能导致短路或影响真空度)。
可用棉签蘸取乙醇擦拭,或用软质刮刀轻轻刮除(避免损伤腔体涂层)。
真空泵保养:定期更换真空泵油(因铟蒸气可能污染泵油,建议每 200 小时检查一次),防止油液粘度升高影响抽气效率。
防护措施
个人防护:操作时佩戴防静电手套、护目镜,避免直接接触铟靶(铟金属,但粉尘吸入可能刺激呼吸道,需在通风良好环境下操作)。
防火防爆:铟粉或碎屑属于可燃固体(引燃温度约 200℃),需远离明火,废弃靶材及碎屑应收集于专用容器中,按危险废弃物处理。
电磁屏蔽:射频溅射时需确保设备接地良好,防止电磁辐射对操作人员或周边仪器的干扰。