平板显示(LCD/OLED/Micro-LED)
核心用途:制备透明导电薄膜(如氧化铟锡,ITO),作为显示面板的电极层和触控层。
LCD:用于玻璃基板的 ITO 薄膜,实现像素电极的导电功能。
OLED/Micro-LED:作为柔性基板(如 PI 膜)的透明电极,满足柔性显示对材料延展性的要求。
市场占比:全球超过 70% 的铟靶材用于显示面板生产,是 LCD/OLED 产业链的关键材料。
科研与前沿技术
1. 量子计算与超导器件
探索应用:铟薄膜作为超导材料(如 In-Nb 合金),用于量子比特器件的制备,利用其超导电性实现低损耗量子信号传输。
2. 柔性电子与可穿戴设备
技术方向:在柔性电路板(FPC)、电子皮肤中作为可拉伸导电薄膜,利用铟的高延展性满足器件形变需求。
溅射时间与沉积厚度
厚度监控:使用石英晶体微天平(QCM)实时监测薄膜沉积速率,结合靶材消耗速率(约 0.1~0.5 μm/min,与功率相关),控制溅射时间。
靶材利用率:避免过度溅射导致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 时需及时更换),通常平面靶材利用率约 30%~40%,旋转靶可提升至 60% 以上。
靶材回收与再利用
回收价值:报废铟靶(含溅射过程中产生的碎屑、废膜)可通过化学溶解(如盐酸溶解)、电解精炼等工艺回收铟金属(回收率可达 95% 以上),降低生产成本。
环保要求:回收过程中产生的废水需处理至重金属排放标准(如铟离子浓度≤0.1 mg/L),避免环境污染。