火法-湿法联合工艺
结合两种工艺优势提升效率：
废靶材先经回转窑1200℃挥发富集，铟含量从0.1%提升至0.5%。
富铟烟尘通过酸浸-萃取-电解流程精炼，整体回收率从传统工艺的54%提升至85%。
该方案投资成本较单一湿法降低30%，但需配套烟气净化系统防止铟挥发损失。
总结：随着光伏和显示面板产业扩张，2025年中国ITO靶材回收市场规模预计突破50亿元。物理法因成本优势（处理成本2000元/吨）在中小型企业普及，而大型企业更倾向联合工艺（综合回收率>90%）。
未来发展方向将聚焦：短流程设计（工序减少40%）、智能化控制系统（能耗降低25%）、以及铟锡同步回收技术的突破。
ITO靶材，即铟锡氧化物靶材，主要由氧化铟（In₂O₃）和氧化锡（SnO₂）组成，其中氧化铟占比高达90%。ITO靶材因其优异的导电性和高透光性，成为液晶显示器（LCD）、触摸屏及太阳能电池等光电设备的理想材料。其晶体结构稳定，电导率高，确保了设备的运行。
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