主流回收工艺分类

当前ITO靶材回收主要围绕铟元素提取展开，主要分为物理法、化学法和联合工艺三类：

熔炼过滤法（物理法）

通过高温熔炼结合筛网过滤实现铟与其他金属的分离。具体流程包括：

废铟块在625℃熔炼炉中熔化，利用铁/不锈钢筛网（30-40目）截留固态杂质铁、铝。

熔融铟通过重力滴落收集，残留物可二次熔炼提升回收率至72%。

该方法具有设备简单（图1）、周期短（单次处理≤60分钟）的优势，适用于含铟量70%-90%的废靶材。但需控温（±5℃），否则杂质金属可能熔化导致纯度下降至95%以下。

ITO废料来源与回收技术

ITO废料来源于生产废料、终端废料及工业副产物，为回收提供了丰富资源。ITO废料来源于多个方面。首先，在ITO靶材的生产过程中，会产生切削碎屑和镀膜后的废靶材，这些属于生产废料。其次，随着电子产品的更新换代，废弃的LCD面板、智能手机屏幕以及光伏薄膜等电子垃圾也逐渐增多，这些被称为终端废料。此外，金属冶炼过程中也会产生含铟烟尘或废渣，这属于工业副产物。这些不同来源的ITO废料，为铟的回收利用提供了丰富的资源。

ITO靶材，即铟锡氧化物靶材，主要由氧化铟（In₂O₃）和氧化锡（SnO₂）组成，其中氧化铟占比高达90%。ITO靶材因其优异的导电性和高透光性，成为液晶显示器（LCD）、触摸屏及太阳能电池等光电设备的理想材料。其晶体结构稳定，电导率高，确保了设备的运行。

ITO靶材回收流程

ITO靶材的回收流程通常包括以下几个步骤：

1. 收集与分类：将废旧ITO靶材进行收集，并根据其种类、纯度等进行分类。

2. 破碎与研磨：将分类后的靶材进行破碎和研磨，使其变成粉末状，便于后续处理。

3. 化学分离：采用化学方法将粉末中的铟、锡等元素进行有效分离。

4. 提纯与精炼：对分离出的铟、锡等元素进行提纯和精炼，得到高纯度的金属产品。

5. 再加工：将提纯后的金属产品加工成新的靶材或其他产品，实现资源的循环利用。