空气净化技术是电子厂净化车间的核心。其中，主要的净化技术包括过滤、静电除尘、化学吸附等。过滤器可以有效地过滤空气中的微粒，将空气中的尘埃、等颗粒物截留下来。
静电除尘技术则可以通过静电作用将空气中带电粒子去除，进一步提高空气质量。化学吸附技术则可以去除空气中的有害气体，例如甲醛、苯等有机物。这些技术的综合应用，可以确保车间内的空气干净、清洁，符合生产要求。
印制电路板生产用洁净厂房：6.5级、24±2℃、65%±5%。
锂电池生产的干作业洁净生产区：6级、23℃；露点（DP)－30℃；组装、测试洁净室（区）：7级、23±2℃、≈20%。
等离子显示器（PDP)生产用洁净厂房
涂屏间：5.5级、25±2℃，50%±10%。
其他生产间：6.5～8级、20～26℃、55%±10%。
净化工程包括：乱流式、乱流式、复合式。
1、乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
2、层流式
层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。
3、复合式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。