洁净室内静电导致的事故有以下几方面；

1．静电电引起的静电电击，引起人和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒，由摔倒又致伤)；

2-静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等破坏和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅严重击穿者计39块，失效率竞达78，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；

3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作；

4．静电放电的发光可导致照像肢片等感光破坏；

5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；净化工程

6．静电放电引起的危险的灾害是成为可燃物的火源井引起爆炸，例如国外文献统计，在手术室使用爆炸性麻醉剂的86000次中，爆炸的36次，其中由静电引起的达21次。

静电问题所以在洁净室中特别严重，是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素，而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面，尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率，都易产生静电和集聚静电，在洁净室的静电灾害未被重视以前，这些材料料是被广泛采用的。

无尘室在绝大多数情况下，运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。主要是因为小粒径粉的扩散作用明显，风速低了，气流在过滤材料中滞留的时间就长一些，粉尘就有更多的机会撞击障碍物，因此过滤效率就高，经验表明，对于过滤器，风速减少一半，粉尘的透过率会降低近一个数量级，风速增加一倍，透过率会增加一个数量级。

无尘室与扩散的效果类似，当过滤材料带静电时，粉尘在滤材中滞留的时间越长，被材料吸附的可能性就越大，改变风速，带静电材料的过滤效率会明显改变，如果你材料上有静电，进行空调系统设计时就应该尽可能地减少通过每只过滤器的风量。

对于以惯性机理为主的大颗粒粉尘，根据传统理论，风速降低后，粉尘与纤维碰撞的几率会减少，过滤效率会随之降低，但在实践中这种影响并不明显，因为风速小了，纤维对粉尘的反弹力也小了，粉尘更容易被粘住。