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国产5nm蚀刻机下半年交付台积电美国工厂？中关村在线 2022-08-03 13:41

近日有消息称，中微半导体设备（上海）股份有限公司制造的5nm蚀刻机将于今年下半年交付台积电美国工厂，这可以说是国产蚀刻机的一大突破。

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